Виртуальный компьютерный музей.
Русский | English   поискrss RSS-лента

Главная  → Книги и компьютерная пресса  → Александр Анатольевич Васенков.  → 

3.3. Зеленоградский Центр нанотехнологии

В рамках одобренной Правительством Российской Федерации «Концепции развития в РФ работ в области нанотехнологий на период до 2010 года» и других Постановлений правительства, программ и ведомственных решений, предусмотрено создание исследовательской и технологической инфраструктуры для нанотехнологий: дизайн-центров, систем обмена информацией, подготовки кадров. Учреждена Национальная лаборатория нанотехнологий во главе с Курчатовским институтом и предусмотрено создание нескольких мощных отраслевых комплексов – Центров нанотехнологии в Роспроме.

Одним из таких отраслевых центров Роспрома, представленным в целевой адресной инвестиционной программе, утвержденной распоряжением правительства № 146р от 8.02.07 г., является Центр высоких технологий по наноэлектронике и наномикромеханике на базе ГНЦ РФ – ФГУП «НИИ физических проблем им. Ф.В. Лукина». Главной особенностью этого отраслевого Центра является находящийся в стадии монтажа в Инженерно-производственном корпусе (ИПК) синхротрон – технологическое накопительное кольцо (ТНК) с 37 каналами вывода синхротронного излучения на энергию 1,5-2 ГэВ.

Монтаж в Роспроме России такого научно-исследова­тельского и технолого-производственного комплекса будет закончен в 2010 г. Комплекс Центра НИИФП оснащён уникальным исследовательским, аналитическим, метрологическим и технологическим оборудованием. Это обеспечит решение крупных прорывных задач развития нанотехнологий в области наноэлектроники и наномеханики, позволит проводить интеграцию разноуровневых микро- и нанотехнологий для решения перспективных в области новой электронной компонентной базы (ЭКБ) и сверхсложной миниатюрной радиоэлектронной аппаратуры в рамках одного технологического ядра.

Особенностью комплекса Центра НИИФП является наличие в ИПК около 3000 м2 площадей для новейшего научно-технологического оборудования, располагаемого на уникальном специализированном развязанном фундаменте, который (как уже доказано) позволяет решать научно-технологические задачи, обеспечивая стабильные условия и метрологию в нанометровом диапазоне. Синхротронное излучение (СИ), перекрывающее диапазон длин волн от миллиметров до долей нанометров, обладающее высокой стабильностью, поляризованностью, высокой яркостью, позволяет использовать его в качестве технологического и аналитического инструмента для решения различных задач.

На строительстве корпуса синхротрона НИИФП, 1984г.

На строительстве корпуса синхротрона НИИФП, 1984г.
Слева направо:

  1. Савельев Виктор Александрович (2й сек-ретарь РК КПСС),
  2. Дьяков Юрий Николаевич,
  3. Колесников Владислав Григорьевич,
  4. Шокин Александр Иванович,
  5. Васенков Александр Анатольевич,
  6. Ларионов Анатолий Михайлович (1й секретарь РК КПСС).

Наличие в институте Центра коллективного пользования (ЦКП), оснащенного сложным аналитическим оборудованием, наряду с будущим оснащением его каналов СИ специальными аналитическими рабочими станциями, превратит аналитический ЦКП в уникальный по своим возможностям Центр, который будет востребован практически для всех отраслей науки и технологии.

НИИФП им. Ф.В. Лукина, совместно с широко известным ЗАО «НТ-МДТ» и его группой предприятий, выпускающими широко известные в стране и за рубежом разнообразные сканирующие зондовые микроскопы (СЗМ), приступили к подготовке и реализации нового проекта по оснащению Центра нанофабриками с принципиально новым технолгическим оборудованием (примеры см. на цветной вкладки) для разработки и производства наноэлектронной компонентной базы.

Особенности этого оборудования:

Первые образцы модулей такого кластерного оборудования поставлены ЗАО «НТ-МДТ» в МИЭТ и ТРТИ.

Использование научно-технического и технологического задела по разработке различных электронных приборов в НИИФП и задела  ЗАО «НТ-МДТ» в области прецизионного научного приборостроения позволит при необходимой поддержке и финансировании перейти к разработке, производству и поставке потребителям принципиально новых технологических кластерных линий – нанофабрик под заданную нанотехнологию предельных возможностей, состоящих из технологических, сборочных метрологических и аналитических модулей, обеспечивающих разработку и выпуск изделий наноэлектроники и наномикроэлектромеханики в следующих направлениях:

Остановимся на заделе, имеющемся в НИИФП им. Ф.В.Лукина.

1. Кремниевая и мембранная технология

Разработан, реализован и используется универсальный технологический маршрут изготовления мембранных микроконструкций МЭМС (мембран, консолей, мостиков, струн, пористых фильтров, диодных сеток, кантилеверов и т.д.).

Практически впервые в нашей стране в институте организовано производство наноизделий:

2. Углеродные технологии (углеродные нанотрубки (УНТ), алмазные плёнки)

Совместно с НИИТМ ведётся работа по созданию и совершенствованию прецизионного технологического оборудования получения УНТ с упорядоченной размерной структурой и тонких алмазных плёнок. Разработаны экспериментальные установки, основы технологии и технологического маршрута, получены экспериментальные образцы УНТ и образцы вакуумного нанотранзистора, который может стать базовым элементом, в т.ч. также для дисплеев различного назначения, и решить ряд задач при создании радиационностойкой ЭКБ на нанотехнологическом уровне.

Использование технологии УНТ и алмазных плёнок позволяет:

В НИИФП имеется большой задел и получены практические результаты в создании наноструктур для медицины и их применению в сердечно-сосудистой хирургии в качестве биосовместимых долговременных имплантантов, в глазной хирургии для интраокулярных линз и ортопедии для улучшения физических и эксплуатационных свойств материалов. Эти результаты получены при модификации медицинских полимеров кластерным углеродом.

3. Технологии на сверхпроводимости

В области сверхпроводимой электроники:

Запуск синхротрона «Зеленоград», совместные работы НИИФП и ЗАО «НТ-МДТ» по разработке технологий и нанофабрик кластерного типа с использованием синхротронного излучения в ряде важнейших технологических процессов (рентгенолитографии, ЛИГА-процессы, модификация поверхности, аналитика и нанометрология), необходимых для создания и опытного производства разнообразных изделий наноэлектроники и наномикромеханики на специализированных виброзащитных площадях в ИПК, постоянное использование аналитической базы ЦКП и, наконец, поставка потребителям современной продукции в виде изделий наноэлектроники и комплексных нанофабрик с технологическим обеспечением, является главной задачей создаваемого отраслевого Центра нанотехнологий.

Практически это означает, что в рамках национальной корпорации «нанотехнология» образуется мощный отраслевой научно-исследовательский и производственный комплекс по созданию отечественной промышленности, по выпуску средств производства для обеспечения опережающего развития в области нанотехнологии и изделий наноэлектроники и наномеханики с высоким экспортным потенциалом.

Синхротрон Зеленоград

Синхротрон "Зеленоград"

Возможности комплекса значительно возрастают благодаря мощному научно-производственному и кадровому потенциалам в Зеленограде: ОАО «НИИМЭ и завод «Микрон»», ОАО «Ангстрем», Технопарк «Зеленоград», ОАО «Элпа», завод «Компонент», развивающаяся «Техновнедренческая зона (ТВЗ), кузница кадров – МИЭТ. Все это создает предпосылки для появления одного из самых мощных отечественных нанотехнологических комплексов в России в области электроники и радиоаппаратостроения.

Естественно, что быстрая реализация этой задачи, важной для развития высоких технологий и безопасности страны, требует большой финансовой и политической поддержки со стороны Правительства и крупных инвестиций, как от самих участников, так и со стороны частного капитала. Ибо, только развивая нанотехнологическую продукцию, имея большую нишу на этом рынке, страна может считать себя независимой и безопасной.

 

Материал для Государственной думы РФ,
Июнь 2007 г.
Публикуется впервые.
Из книги «Александр Анатольевич Васенков». 2010 г.

Проект Эдуарда Пройдакова
© Совет Виртуального компьютерного музея, 1997 — 2017