Мы вышли из “шинели” “Пульсара”

Ю. Федоренко

Государственное унитарное предприятие “Научно-производственное предприятие “Пульсар” (ГУП “КПП «Пульсар»”) создано в 1953 году.

Шли годы, менялись названия предприятия — НИИ-35, НИИ Полупроводниковой электроники (НИИПЭ), Государственный НИИ “Пульсар”, ГУП “КПП «Пульсар»”, но “Пульсар” всегда был и остаётся одним из ведущих предприятий отрасли.

За истёкшие 50 лет разработаны и освоены на серийных заводах отрасли более 1200 типов германиевых, кремниевых, арсенид-галлиевых транзисторов — от первых в стране промышленных образцов точечных C1, C2, плоскостных П1…П3 до современных мощных кремниевых биполярных СВЧ-транзисторов, работающих в импульсном и непрерывном режимах различных диапазонов длин волн. Широкое развитие на предприятии также получили работы по созданию кремниевых полевых транзисторов ВЧ и СВЧ диапазона частот. Среди специалистов “Пульсар” долгое время больше был известен как транзисторный институт. Транзисторная электроника явилась базой для развития в стране интегральной электроники — микроэлектроники. И она “зародилась” тоже на “Пульсаре”. Здесь были созданы первые отечественные кремниевые интегральные схемы ИС-100, впервые в мире разработаны быстродействующие ТТЛ-микросхемы с парафазным выходом серий 199, К599, КМОП БИС для приборов точного времени — электронных часов — и ряд других микросхем. На “Пульсаре” в начале 70-х годов получило развитие новое в стране направление полупроводниковой электроники — БИС на основе приборов с зарядовой связью (ПЗС), для управления которыми были разработаны специализированные микросхемы. За последние два десятилетия одним из основных направлений работы предприятия стало создание и промышленный выпуск комплексированных радиоэлектронных устройств двойного назначения, в частности, для систем управления воздушным движением. За большой вклад в развитии отечественной электронной техники предприятие награждено орденом Трудового Красного Знамени (1968 г.) и орденом Ленина (1984 г.) Более 20 сотрудников “Пульсара” удостоены звания лауреатов Ленинской и Государственных премий в области науки и техники за личный вклад в разработку и внедрение в производство новых приборов.

Неоценим вклад “Пульсара” в становление школы инженерно-технических работников и учёных, создавших в 50-60 годы отечественную полупроводниковую электронику. Об этом публикация лауреата государственной премии СССР, помощника генерального директора — секретаря Совета директоров ОАО “НИИМЭ и Микрон” Ю. Федоренко.

Появление на рынке первых отечественных промышленных полупроводниковых приборов совпало с началом моей инженерной деятельности в ВНИИ экспериментальной физики Российского федерального ядерного центра (больше известного как “Арзамас-16”). Мне, как молодому специалисту, тогда посчастливилось стать одним из авторов и исполнителей программы перевода аппаратуры автоматики подрыва ядерных зарядов, которая в середине 50-х строилась на электромеханических преобразователях, электромоторных реле времени, электромеханических реле, подпружиненных селеновых выпрямителях и т. п. элементах, на полупроводниковую элементную базу. Так с первых дней работы состоялась моя инженерная специализация, которая сохранилась на долгие годы, развиваясь в “обратном” направлении — от разработки аппаратуры на дискретных полупроводниковых приборах к производству интегральных микросхем.

Начинать приходилось почти с нуля, так как в институте, при очень хороших курсах теоретических основ электротехники и основ построения систем электроавтоматики, нам дали только общие понятия о полупроводниковой электронике, при этом наши преподаватели весьма скептически относились к транзисторам и в убеждениях сохраняли веру в надёжность только “сухого контакта”. Полупроводниковые кафедры в отдельных ВУЗах только начинали появляться.

Основными источниками пополнения недостающих знаний на первых порах были переводные сборники по применению полупроводниковых приборов и, ставший настольным не только для меня, но и для многих других специалистов, учебник Я. А. Федотова, написанный им в стенах НИИ-35 (ныне НИИ “Пульсар”). Он стал по существу хрестоматией по полупроводниковой электронике.

Активной составляющей пополнения знаний стали творческие командировки на предприятия электронной техники, во время которых зарождались личные контакты с разработчиками полупроводниковых приборов, создавались программы совместных работ по испытаниям новых приборов. Интерес и расположение сторон были взаимными — я получал квалифицированные консультации и первые образцы приборов ещё на стадии их разработки, а разработчиков привлекала возможности получить заключение о “поведении” своих приборов в нашей аппаратуре и подвергнуть их экзотическим по тем временам испытаниям — на радиационное воздействие. В числе руководителей и специалистов, которые способствовали этому сотрудничеству и принимали в нём непосредственное участие в те далёкие годы, были: В. В. Иванов — начальник СКТБ ЛПО “Светлана” (позже — первый директор Фрязинского завода полупроводниковых приборов, главный инженер НИИ “Пульсар”, начальник 9-го ГУ МЭП СССР); А. Р. Назарьян — главный инженер СКТБ ЛПО “Светлана” (позже — главный инженер, директор НИИМЭ, начальник ГНТУ МЭП СССР); Г. Д. Глебов — главный инженер НИИ “Пульсар”; А. В. Красилов и С. Г. Мадоян — разработчики первых промышленных плоскостных транзисторов ПЗ и П4; А. А. Лысков — директор Новосибирского завода полупроводниковых приборов (позже — начальник 2-го ГУ МЭП СССР) и многие другие.

Сотрудничество с предприятиями электронной промышленности впоследствии сыграло решающую роль в моей жизни после ухода с прежнего места работы. В 1964 году Фрязинский завод полупроводниковых приборов, производственная база быстро развивающихся НИИ “Пульсар” и НИИ “Сапфир”, тогда только строился, штатного расписания ещё не было, но набор кадров уже вёлся. Вновь принятых оформляли на работу в НИИ “Пульсар” и в КБПМ для прохождения стажировки, в их числе был и я.

Фрязинский завод начинал свою деятельность с производства точечных диодов, потом освоил производство мощных транзисторов, потом первым в стране начал выпуск интегральных схем, разработанных в отделе Б. В. Малина в стенах того же НИИ “Пульсар”.

Когда появилась возможность легальной закупки технологического оборудования за рубежом и решалась задача по оснащению Фрязинского завода оборудованием для производства полупроводниковых приборов по планарной технологии, техническое задание на контракт с английской фирмой ВАКВЕЛЛ разрабатывалось в НИИ “Пульсар” под руководством В. А. Стружинского, он же возглавил бригаду специалистов, состоявшую из представителей нескольких предприятий МЭП, для прохождения стажировки и приёмки оборудования на фирме. Уместно заметить, что столь крупное комплексное мероприятие в истории МЭП СССР проводилось впервые и, насколько я помню, было единственным, но В. А. Стружинскому оно стоило жизни (трагически погиб в Лондоне при исполнении служебных обязанностей во время командировки).

Деятельность Фрязинского завода и его ОКБ во все периоды существования неразрывно связана с “Пульсаром” — он действительно стал основной производственной базой по освоению и выпуску большинства приборных разработок, выполненных в НИИ “Пульсар”, а ряд ОКР проводились совместно. Наиболее характерным и эффективным примером тому было создание первого отечественного высокочастотного транзистора в пластмассовом корпусе для бытовой радиоэлектронной аппаратуры и автоматизированного оборудования для их массового производства. Серийное производство транзисторов было осуществлено на Фрязинском заводе. К выполнению этой комплексной работы был привлечён ряд предприятий отрасли, разработка собственно транзистора проводилась в НИИ “Пульсар” под руководством А. И. Гольдшера (ныне доктор технических наук). В 1973 году эта работа была удостоена Государственной премии СССР.

С переходом на работу в Зеленоград в НИИМЭ я не удивился, когда узнал, что многие ведущие специалисты НИИМЭ и завода “Микрон”, включая директора К. А. Валиева (ныне действительного члена РАН), подобно Фрязинскому варианту прошли через стажировку на “Пульсаре”. Приведу слова К. А. Валиева по этому поводу из сборника воспоминаний и очерков “НИИМЭ-”Микрон“. 35 лет. События. Люди”. Москва, Зеленоград, 1999 г.

“Первоначальный коллектив НИИМЭ родился в Москве, в сегодняшнем НИИ «Пульсар». Это был крупный институт, имевший к тому времени опытный коллектив разработчиков германиевых и кремниевых транзисторов. Он создал новое подразделение (отдел Б. В. Малина), приступившее к разработке интегральных схем. Одновременно там начал работать первичный коллектив НИИМЭ.

…Первые шаги реальной деятельности института полностью определялись А. И. Шокиным. Прежде всего, он предложил перевести всех в Зеленоград. Задача определена А. И. Шокиным: надо создать цех по производству бескорпусного планарного транзистора «Плоскость» (разработка НИИ «Пульсар»). В этой разработке аккумулирован отечественный опыт планарной технологии на кремнии, основные процессы которого пригодны и для изготовления интегральных схем”.

Работая в НИИМЭ, я не потерял связь с коллегами из “Пульсара” и, случалось, обращался к ним по каким-то вопросам. Одно из моих обращений было несколько необычным. Дело в том, что на заводе “Микрон”, главным инженером которого я был в то время, в одном из цехов произошёл несчастный случай со смертельным исходом: работница, готовя смесь из плавиковой, азотной и щавелевой кислот, вместо щавелевой кислоты влила спирт, который был припрятан в бутылке из-под щавелевой кислоты с соответствующей этикеткой. Мы очень быстро установили причину взрыва и воспроизвели произошедшее, но у следователя прокуратуры была своя навязчивая версия — он искал криминал в самой смеси и ждал заключения экспертов, которое ему якобы обещали в одном из институтов Академии наук. Наши попытки получить официальное заключение независимых экспертов были безуспешными, так как в те годы желающих войти в противоречие с прокуратурой не находилось. Однако один мужественный человек всё же нашёлся. Это был доктор химических наук из “Пульсара” И. Г. Ерусалимчик. Его заключение, подписанное тремя докторами химических наук (двоих он сам разыскал), с сопроводительным письмом за подписью директора НИИ “Пульсар” Ю. П. Докучаева сыграло решающую роль в этом деле, и оно было закрыто.

Я не сомневаюсь, что, взяв в руку перо, любой из старожилов предприятий бывшей электронной промышленности СССР написал бы самые добрые слова о роли НИИ “Пульсар” в становлении и развитии полупроводниковой подотрасли электронной промышленности страны.

К сожалению, годы и события, происходящие в стране в последнее десятилетие, как-то развели нас, каждый борется за своё выживание самостоятельно. Может, пора объединить усилия? Примеры тому появляются — ряд предприятий бывшей электронной промышленности усилиями Концерна “Научный Центр”, возглавляемого членом корреспондентом РАН  Г. Я. Красниковым, уже объединились под его флагом.

ОАО “НИИМЭ и Микрон” проводит ежегодные научно-практические конференции по проектированию и технологии производства интегральных микросхем. В октябре этого года в Гурзуфе прошла очередная — пятая. Приходится сожалеть, что представители НИИ “Пульсар” не участвовали в её работе.

Во время товарищеского ужина по случаю завершения конференции было предложено поднять бокалы за славный юбилей НИИ “Пульсар”, за “шинель”, из которой мы когда-то вышли.

Статья опубликована в журнале Chip News № 3, 2003 г.
Перепечатывается с разрешения редакции.