NEMS
nanoelectromechanical systems – наноэлектромеханические системы, технология NEMS # термин, обозначающий растущий класс электромеханических устройств, объединяющих в себе электронные и механические компоненты размером до 100 нм.
Связные термины
MEMS, nano-electromechanical device, nanotechnology
