off-axis illumination
(OAI)
внеосевое освещение # в КГА – освещение (и источник света) без осевого компонента, например кольцевое (annular illumination) и квадрупольное (quadrupole illumination) освещение. Одна из трёх основных технологий компенсации ошибок изображения и повышения разрешения, которые позволили оптической литографии значительно улучшить практические пределы разрешения по сравнению с ранее считавшимися возможными (другие две технологии – это phase-shift mask, маски с фазовым сдвигом, или фазосдвигающие маски, и optical proximity correction (OPC), оптическая коррекция близости, или приближения).
Связные термины
illumination
